Россия и Беларусь ведут совместную разработку отечественного литографа
Заместитель министра промышленности и торговли России Василий Шпак рассказал о ходе совместных с Белоруссией работ по созданию оборудования для производства микроэлектроники. В рамках Союзного государства была завершена разработка литографической установки на 350 нанометров, в данный момент начато производство серийных аппаратов. По словам Шпака, на поставку двух таких машин уже заключены контракты. Тестирование опытного образца проводилось по тем же стандартам, что и для импортного оборудования, благодаря чему Россия и Белоруссия вошли в число немногих стран, обладающих подобными технологиями.
В этом году планируется закончить разработку литографа на 130 нанометров, оснащенного российским эксимерным лазером. Лазер успешно прошел испытания и по своим характеристикам соответствует мировым аналогам. Оборудованием уже интересуются специалисты из Китая в качестве альтернативы западным системам. Вопрос совместимости лазера с иностранными литографами упирается в закрытость зарубежных протоколов управления, однако при наличии запроса от рынка российские инженеры готовы решить эту задачу.
Специалисты НИИМЭ и НИИТМ разработали кластеры плазмо-химического травления и осаждения для пластин диаметром 300 миллиметров, поддерживающие техпроцесс до 65 нанометров. Это позволило создать опытную платформу для технологий будущих производств и найти решения, которые будут применяться в машинах для пластин 150 и 200 миллиметров. В сфере установок для формирования гетероструктур и выращивания монокристаллов наблюдается спрос со стороны дружественных стран, и Россия планирует экспортировать комплексные решения, включающие технологии, оборудование и материалы.
Ведется работа по стандартизации систем автоматизированного проектирования для микроэлектроники с привлечением белорусских специалистов. В России уже сформировано сообщество из более чем двадцати организаций, включая МИЭТ, Курчатовский институт и МФТИ. Ожидается, что белорусские предприятия и научные институты также внесут свой вклад в создание стандартов. Усиление национального режима защиты рынка в России не ограничит участие Белоруссии, так как страны состоят в Евразийском экономическом союзе и действуют на общем рынке. Для практического внедрения новых разработок министерство планирует создавать на заводах специальные площадки для отработки технологий на отечественном оборудовании.
